— 孙萍主编
索书号：TN405/14
标准编码： 978-7-121-22899-5
出版信息：北京 电子工业出版社 2014.09
主题词： 集成电路工艺 集成电路工艺
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— 温德通编著
索书号：TN405/28
标准编码： 978-7-111-59830-5
出版信息：北京 机械工业出版社 2018.08
— 肖国玲，张彦芳，钱冬杰主编
索书号：TN405/37
标准编码： 978-7-5606-6628-0
出版信息：西安 西安电子科技大学出版社 2023
— 严利人，周卫著
索书号：TN405/22
标准编码： 978-7-03-050157-8
出版信息：北京 科学出版社 2017.01
索书号：TN405/30
出版信息：北京 机械工业出版社 2021
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