书目详细信息
： 集成电路芯片制造实用技术
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-111-34458-2:CNY27.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 集成电路芯片制造实用技术/.卢静主编 |
| 出版发行项： | 北京:,机械工业出版社:,2011.09 |
| 载体形态项： | 214页:;+图:;+26cm |
| 一般附注： | 全国高等职业教育职业规划教材 |
| 提要文摘： | 全书共分9章，内容包括了概述、硅晶圆制程、硅晶薄膜制备、氧化工艺、掺杂工艺、光刻工艺、刻蚀制程、芯片封装、集成电路芯片品检。 |
| 题名主题： | 集成电路 芯片 制造 高等职业教育 教材 |
| 题名主题： | 集成电路 |
| 题名主题： | 芯片 |
| 题名主题： | 制造 |
| 中图分类： | TN405 |
| 个人名称等同： | 卢静 主编 |
| 记录来源： | CN RENTIAN 20111026 |