ISBN/价格: | 978-7-121-11751-0:CNY39.80 |
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作品语种: | chi |
出版国别: | CN 110000 |
题名责任者项: | 集成电路制造技术/.王蔚,田丽,任明远编著 |
出版发行项: | 北京:,电子工业出版社:,2010 |
载体形态项: | 395页:;+图:;+26cm |
一般附注: | 电子信息与电气学科规划教材·电子科学与技术类 |
提要文摘: | 本书主要分5个单元。第1单元介绍硅衬底,主要介绍硅单晶的结构特点,单晶硅锭的拉制及硅片(包含体硅片和外延硅片)的制造工艺及相关理论。第2~5单元介绍硅芯片制造基本单项工艺(氧化与掺杂、薄膜制备、光刻、工艺集成与封装测试)的原理、方法、设备,以及所依托的技术基础及发展趋势。 |
题名主题: | 集成电路工艺 高等学校 教材 |
中图分类: | TN405 |
个人名称等同: | 王蔚 编著 |
个人名称等同: | 田丽 编著 |
个人名称等同: | 任明远 编著 |
记录来源: | CN CEPC 20101211 |