书目详细信息
： MEMS压力传感器理论与技术
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-04-060468-9:CNY99.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | MEMS压力传感器理论与技术/.蒋庄德等著 |
| 出版发行项： | 北京:,高等教育出版社:,2023.08 |
| 载体形态项： | 358页:;+图:;+26cm |
| 丛编项： | 先进制造与智能制造前沿技术丛书 |
| 丛编项： | 机械工程前沿著作系列 |
| 一般附注： | 国家科学技术著作出版基金资助出版 “十四五”国家重点出版物出版规划项目 |
| 提要文摘： | 本书共13章，主要内容包括：绪论、MEMS压力传感器基础理论、MEMS压力传感器硅微工艺、SOI耐高温阻式压力传感器、微型压力传感器、高频压力传感器、谐振式压力传感器等。 |
| 并列题名： | Theories and technologies of MEMS pressure sensors eng |
| 题名主题： | 压力传感器 |
| 中图分类： | TP212 |
| 个人名称等同： | 蒋庄德 著 |
| 记录来源： | CN 人天书店 20230914 |