书目详细信息
： 图解入门:半导体制造设备基础与构造精讲
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-111-70801-8:CNY99.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi jpn |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 图解入门/.(日)佐藤淳一著/.卢涛译 |
| 出版发行项： | 北京:,机械工业出版社:,2022 |
| 载体形态项： | 16,198页:;+24cm |
| 丛编项： | 集成电路科学与技术丛书 |
| 一般附注： | 机工通信 |
| 提要文摘： | 本书向读者展现了半导体制造工艺中使用的设备基础和构造。全书涵盖了半导体制造设备的现状以及展望，同时对清洗和干燥设备、离子注入设备、热处理设备、光刻设备、蚀刻设备、成膜设备、平坦化设备、监测和分析设备、后段制程设备等逐章进行解说。 |
| 题名主题： | 半导体工艺 图解 |
| 中图分类： | TN305 |
| 个人名称等同： | 佐藤淳一 (日) 著 |
| 个人名称次要： | 卢涛 (半导体技术) 译 |
| 记录来源： | CN TSG 20230209 |