书目详细信息
： 微米纳米器件测试技术
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-118-07897-8:CNY88.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微米纳米器件测试技术/.张文栋等编著 |
| 出版发行项： | 北京:,国防工业出版社:,2012 |
| 载体形态项： | 20,259页:;+图:;+24cm |
| 丛编项： | 微米纳米技术丛书.MEMS与微系统系列 |
| 一般附注： | 国家科学技术学术著作出版基金资助出版 总装备部国防科技图书出版基金资助 |
| 提要文摘： | 本书简述了微米纳米器件测试技术的发展、意义和研究现状，介绍了微米纳米结构的特征几何参量测量技术，讲解了微米纳米结构的动态特性测试技术和力学量测试技术，介绍了MEMS在线测试技术及几种典型的微米纳米器件测试技术。 |
| 分集： | MEMS与微系统系列 |
| 并列题名： | Micro-nanometer devices measuring technology eng |
| 题名主题： | 纳米材料 微电子技术 电子器件 测试技术 |
| 题名主题： | 纳米材料 |
| 题名主题： | 微电子技术 |
| 题名主题： | 电子器件 |
| 题名主题： | 测试技术 |
| 中图分类： | TN4 |
| 个人名称等同： | 张文栋 编著 |
| 记录来源： | CN TSG 20140116 |