书目详细信息
： NEMS传感器的研制与应用
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-5024-7442-3:CNY28.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | NEMS传感器的研制与应用/.谭苗苗著 |
| 出版发行项： | 北京:,冶金工业出版社:,2017.01 |
| 载体形态项： | 109页:;+图:;+24cm |
| 提要文摘： | 本书概述了NEMS传感器的结构类型、加工工艺类型和常用的测试方案，并针对国内外NEMS传感器研究取得的研究成果和发展现状进行了总结分析；针对NEMS传感器比较常见的场效应晶体管结构，详细阐述了两种不同的一维纳米结构组装NEMS器件的工艺方法，以及器件电路结构加工工艺等。 |
| 并列题名： | Preparation of NEMS sensor and its application eng |
| 题名主题： | 机电系统 传感器 研究 |
| 中图分类： | TM7 |
| 个人名称等同： | 谭苗苗 著 |
| 记录来源： | CN CDT 20170316 |