书目详细信息
： 高温SiC MEMS传感器的热电特性
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-03-072489-2:CNY88.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi eng |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 高温SiC MEMS传感器的热电特性/.(澳)丁东安(Toan Dinh)，(澳)阮南中(Nam-Trung Nguyen)，(澳)陶宗越(Dzung Viet Dao)著/.王兴华[等]译 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2022 |
| 载体形态项： | 10,133页:;+图:;+24cm |
| 提要文摘： | 本书分为三部分，共七章。第一部分从单层SiC和多层SiC的热阻效应、热电效应、热电子效应和热电容效应等物理效应方面来介绍SiC的热电特性；第二部分介绍了SiC的诸多重要特征以及SiC MEMS的制造流程，总结了SiC传感器、热流传感器和对流惯性传感器的最新进展；第三部分论述了SiC热电传感器的应用前景。 |
| 并列题名： | Thermoelectrical effect in SiC for high-temperature MEMS sensors eng |
| 题名主题： | 碳化硅热敏电阻器 研究 |
| 题名主题： | 微机电系统 传感器 热电效应 研究 |
| 中图分类： | TM54 |
| 中图分类： | TH-39 |
| 个人名称等同： | 丁东安 (澳) (Dinh, Toan) 著 |
| 个人名称等同： | 阮南中 (澳) (Nguyen, Nam-Trung) 著 |
| 个人名称等同： | 陶宗越 (澳)(Dzung (Dao, Dzung Viet) 著 |
| 个人名称次要： | 王兴华 译 |
| 记录来源： | CN 91MARC 20220728 |
| 记录来源： | CN TSG 20231230 |