书目详细信息
： 压电薄膜材料与器件制备技术
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-5612-3480-8:CNY28.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 610000 |
| 题名责任者项： | 压电薄膜材料与器件制备技术/.张涛著 |
| 出版发行项： | 西安:,西北工业大学出版社:,2012 |
| 载体形态项： | 191页:;+图:;+23cm |
| 一般附注： | 国防特色学术专著 学术专著·材料科学与工程 |
| 提要文摘： | 本书主要分为压电薄膜制备技术和薄膜压电器件制备技术两部分, 讲述了压电薄膜与压电微型器件制备技术, 内容包括: 压电薄膜基础理论, 压电薄膜制备技术与进展等。 |
| 题名主题： | 压电薄膜 压电材料 制备 |
| 题名主题： | 压电薄膜 压电器件 制备 |
| 中图分类： | TM22 |
| 个人名称等同： | 张涛, 著 |
| 记录来源： | CN CQDZ 20210304 |