书目详细信息
： MEMS/NEMS谐振器技术
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-03-075719-7:CNY298.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | MEMS/NEMS谐振器技术/.张文明，胡开明著 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2023 |
| 载体形态项： | 475页:;+图:;+24cm |
| 提要文摘： | 本书共9章，内容包括：绪论、谐振原理与结构设计、谐振器件材料与加工工艺、非线性现象与动力学效应、能量耗散机理与阻尼技术、振动激励与检测原理及技术、通道式MEMS/NEMS谐振器动力学设计与检测技术、弱耦合谐振器设计及传感技术、失效分析与可靠性技术。 |
| 题名主题： | 微机电系统 谐振器 |
| 中图分类： | TN629 |
| 个人名称等同： | 张文明 著 |
| 个人名称等同： | 胡开明 著 |
| 记录来源： | CN 91MARC 20231105 |