书目详细信息
： Wafer fabrication-automated material handling systems
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-5680-4787-6:CNY88.00 |
|---|---|
| 作品语种： | eng |
| 出版国别： | CN 420000 |
| 题名责任者项： | Wafer fabrication-automated material handling systems/.Jie Zhang[等著] |
| 出版发行项： | 武汉:,华中科技大学出版社:,2018.12 |
| 载体形态项： | 272页:;+图:;+25cm |
| 相关题名附注： | 版权页中文题名：晶圆制造自动化物料运输系统调度(英文版) |
| 提要文摘： | 本书在系统全面介绍制造系统中的多种复杂调度问题的基础上，重点介绍了分别面向不同调度问题的智能化调度方法，具体包括非等效并行机智能调度方法、非等效并行机作业车间智能调度方法、面向多工艺路线非等效并行机作业车间智能调度方法等。 |
| 并列题名： | 晶圆制造自动化物料运输系统调度 chi |
| 题名主题： | 半导体工艺 自动化系统 物料输送系统 研究 英文 |
| 中图分类： | TN30 |
| 个人名称等同： | 张洁 著 |
| 记录来源： | CN CDT 20190117 |