书目详细信息
： 批间控制理论与设计方法
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-03-071476-3:CNY99.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 批间控制理论与设计方法/.潘天红，王海燕，谭斐著 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2022 |
| 载体形态项： | 143页:;+24cm |
| 提要文摘： | 本书全面系统地介绍了离散制造过程的批间控制理论及其设计方法，侧重于混合制程批间控制研究的最新进展。全书共7章，分为三大部分，第一部分针对混合制程的控制问题，阐述了批间控制理论与设计方法；第二部分针对带测量时延的半导体晶圆制程的控制问题，给出系统稳定性分析、测量时延概率的估计算法及EWMA滤波器设计方法；第三部分结合贝叶斯理论，研究批间控制性能评估方法，并给出批间控制器协同设计策略。 |
| 并列题名： | Theory and design of run to run control eng |
| 题名主题： | 自动控制理论 |
| 中图分类： | TP13 |
| 个人名称等同： | 潘天红 著 |
| 个人名称等同： | 王海燕 著 |
| 个人名称等同： | 谭斐 著 |
| 记录来源： | CN 91MARC 20220712 |
| 记录来源： | CN TSG 20231230 |