书目详细信息
： 真空镀膜技术与应用
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-122-40245-5:CNY138.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 真空镀膜技术与应用/.陆峰编著 |
| 出版发行项： | 北京:,化学工业出版社:,2022 |
| 载体形态项： | 335页:;+图:;+26cm |
| 提要文摘： | 本书共9章，主要阐述了真空镀膜技术应用，具体介绍了近代真空镀膜方法。内容包括真空蒸发镀膜，真空溅射镀膜，真空离子镀膜，离子束(辅助)沉积，化学气相沉积的原理、特点、装置及应用；还对所制备薄膜的测量技术、性能分析方法做了详细的介绍。 |
| 并列题名： | Technology and application of vacuum coating eng |
| 题名主题： | 真空技术 镀膜 |
| 中图分类： | TN305.8 |
| 个人名称等同： | 陆峰 编著 |
| 记录来源： | CN 91MARC 20220406 |
| 记录来源： | CN TSG 20231204 |