书目详细信息
： 集成电路制造技术
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-122-26284-4:CNY35.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 集成电路制造技术/.杜中一著 |
| 出版发行项： | 北京:,化学工业出版社:,2016.03 |
| 载体形态项： | 172页:;+24cm |
| 提要文摘： | 《集成电路制造技术》一书全面系统地介绍了集成电路制造技术, 内容包括：集成电路制造概述、多晶半导体的制备、单晶半导体的制备、晶圆制备、薄膜制备、金属有机物化学气相沉积、光刻、刻蚀及掺杂。本书简要介绍了集成电路制造的基本理论基础, 系统介绍了多晶半导体、单晶半导体与晶圆的制备, 详细介绍了薄膜制备、光刻与刻蚀及掺杂等工艺。 |
| 题名主题： | 集成电路工艺 |
| 中图分类： | TN405 |
| 个人名称等同： | 杜中一 著 |