书目详细信息
： 一本书读懂芯片制程设备
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-111-72041-6:CNY99.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 一本书读懂芯片制程设备/.王超[等]编著 |
| 出版发行项： | 北京:,机械工业出版社:,2023.02 |
| 载体形态项： | 254页:;+图:;+24cm |
| 丛编项： | 集成电路科学与技术丛书 |
| 提要文摘： | 本书是围绕集成电路芯片发展和新一代信息产业技术领域(集成电路及专用设备)等重大需求，编著的集成电路芯片制程设备通识书籍。集成电路芯片作为信息时代的基石，是各国竞相角逐的“国之重器”，也是一个国家高端制造能力的综合体现。芯片制程设备作为集成电路产业链的最上游，贯穿于芯片制造全过程，是决定产业发展的最关键一环。 |
| 题名主题： | 芯片 工业生产设备 |
| 中图分类： | TN43 |
| 个人名称等同： | 王超 编著 |
| 记录来源： | CN 人天书店 20230322 |