ISBN/价格: | 978-7-03-075191-1:CNY59.00 |
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作品语种: | chi |
出版国别: | CN 110000 |
题名责任者项: | 半导体材料/.张源涛,杨树人,徐颖编著 |
版本项: | 4版 |
出版发行项: | 北京:,科学出版社:,2023 |
载体形态项: | 257页:;+图:;+26cm |
一般附注: | 普通高等教育电子科学与技术特色专业系列教材 |
提要文摘: | 本书介绍了主要半导体材料硅、砷化镓等制备的基本原理和工艺,以及特性的控制等。共13章,包括:硅和锗的化学制备;区熔提纯;晶体生长;硅、锗晶体中的杂质和缺陷;硅外延生长等。 |
题名主题: | 半导体材料 高等学校 教材 |
中图分类: | TN304 |
个人名称等同: | 张源涛 编著 |
个人名称等同: | 杨树人 编著 |
个人名称等同: | 徐颖 编著 |
记录来源: | CN LLBF 20241129 |