书目详细信息
： 微纳制造 Micro and nanomanufacturing [英文本]
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-03-018243-2:CNY88.00 |
|---|---|
| 作品语种： | eng |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微纳制造/.Mark J. Jackson[编著] |
| 版本项： | 影印版 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社 |
| 载体形态项： | 10,699页:;+图:;+24cm |
| 丛编项： | 微纳技术著作丛书 |
| 提要文摘： | 本书全面阐述了微纳器件的设计和制造方面的知识,以及在设计和制造时所要考虑的诸多因素。书中涵盖了多种制造技术,包括微纳制造技术、体和表面微加工技术、LiGA技术、薄膜沉积技术、纳加工技术等。 |
| 并列题名： | Micro and nanomanufacturing |
| 题名主题： | 纳米技术 加工工艺 英文 |
| 中图分类： | TB38 |
| 个人名称等同： | Mark 著 |
| 个人名称等同： | Jackson 著 |
| 记录来源： | CN CDT |