书目详细信息
： 微电子机械系统力学性能及尺寸效应
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-111-25575-8:CNY30.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微电子机械系统力学性能及尺寸效应/.刘凯，韩光平著 |
| 出版发行项： | 北京:,机械工业出版社:,2009 |
| 载体形态项： | 209页:;+图:;+21cm |
| 提要文摘： | 全书共分9章，分析了MEMS的特征及其近期发展；详细分析了尺寸效应的内涵；建立尺寸效应泛函的分析模型；研究了单晶硅微桥式梁弯曲强度的尺寸效应及分布规律，建立QFD／TRIZ／FUZZY集成技术模型；研究MEMS残余应力；对静电致动微泵的结构建立数学分析模型和有限元分析；对微机械振动式陀螺的动力学特性进行了分析，得到了微机械陀螺驱动模态固有频率和检测模态固有频率随其主要结构尺寸变化的规律。 |
| 题名主题： | 微电子技术 |
| 中图分类： | TN405 |
| 个人名称等同： | 刘凯 著 |
| 个人名称等同： | 韩光平 著 |
| 记录来源： | CN CEPC 20090317 |