书目详细信息
： 一本书读懂芯片制程设备
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-111-72041-6:CNY99.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 一本书读懂芯片制程设备/.王超[等]编著 |
| 出版发行项： | 北京:,机械工业出版社:,2023 |
| 载体形态项： | 254页:;+图，照片:;+24cm |
| 丛编项： | 集成电路科学与技术丛书 |
| 一般附注： | 机工通信 |
| 提要文摘： | 本书首先介绍了集成电路芯片制程及其设备，并分析了芯片制程设备的国内外市场环境；然后，针对具体工艺技术涉及的设备，综述了设备原理及市场情况；最后对我国集成电路芯片制程设备的发展做了总结展望。 |
| 题名主题： | 芯片 工业生产设备 |
| 中图分类： | TN430 |
| 个人名称等同： | 王超 编著 |
| 记录来源： | CN LLBF 20241130 |