书目详细信息
： RF MEMS器件设计、加工和应用
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-118-08501-3:CNY99.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | RF MEMS器件设计、加工和应用/.朱健编著 |
| 出版发行项： | 北京:,国防工业出版社:,2012 |
| 载体形态项： | 23,272页，20页图版:;+图:;+24cm |
| 丛编项： | 微米纳米技术丛书.MEMS与微系统系列 |
| 一般附注： | “十二五”国家重点图书出版规划项目 国家科学技术学术著作出版基金资助出 总装备部国防科技图书出版基金资助 |
| 提要文摘： | 本书系统介绍了RF MEMS技术所涵盖的各类器件，以RF MEMS理论设计和工艺实现为基础，阐述了RF MEMS器件的模型设计、结构制备等，详细论述了RF MEMS设计方法、技巧以及工艺技术，论述了RF MEMS器件的封装技术和可靠性问题。 |
| 分集： | MEMS与微系统系列 |
| 并列题名： | RF MEMS devices design,fabrication,and application eng |
| 题名主题： | 微电子技术 元器件 |
| 中图分类： | TN6 |
| 个人名称等同： | 朱健 编著 |
| 记录来源： | CN TSG 20140118 |