书目详细信息
： 集束型晶圆制造装备调度及其优化算法
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-121-31227-4:CNY69.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 集束型晶圆制造装备调度及其优化算法/.李林瑛，卢睿著 |
| 出版发行项： | 北京:,电子工业出版社:,2017.04 |
| 载体形态项： | 328页:;+图:;+26cm |
| 相关题名附注： | 封面英文题名：Scheduling and optimation algorithm for cluster tools of wafer fabrication |
| 提要文摘： | 本书提出的方法和技术将为广大企业、科研院所、高等院校进一步深入研究集束型晶圆制造装备调度问题提供理论基础，为推动集束型晶圆制造装备调度技术发展和企业实际应用提供参考，对提升我国晶圆制造企业的核心技术竞争力及行业综合实力具有重要意义。 |
| 并列题名： | Scheduling and optimation algorithm for cluster tools of wafer fabrication eng |
| 题名主题： | 半导体工艺设备 调度 |
| 题名主题： | 半导体工艺设备 最优化算法 |
| 中图分类： | TN30 |
| 个人名称等同： | 李林瑛 著 |
| 个人名称等同： | 卢睿 著 |
| 记录来源： | CN CDT 20170531 |