书目详细信息
： 超大规模集成电路衬底材料性能及加工测试技术工程
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 7-5024-3050-4:CNY39.50 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 题名责任者项： | 超大规模集成电路衬底材料性能及加工测试技术工程/.刘玉岭, 檀柏梅, 张楷亮编著 |
| 出版发行项： | 北京:,冶金工业出版社:,2002.08 |
| 载体形态项： | 311页:;+26cm |
| 提要文摘： | 本书介绍了作为超大规模集成电路衬底材料硅的性能、硅单晶衬底的加工工艺以及相关的测试技术。全书共分9章，分别为：蛙单晶衬底的加工工艺性质、蛙单晶的加工成型技术、超大规模集成电路蛙衬底的抛光、外延技术等内容。 |
| 题名主题： | 超大规模集成电路 |
| 中图分类： | TN47 |
| 个人名称等同： | 刘玉岭 编著 |
| 个人名称等同： | 檀柏梅 编著 |
| 个人名称等同： | 张楷亮 编著 |
| 记录来源： | CN CDT 20090411 |