书目详细信息
： MEMS光纤声压传感器技术
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-03-069327-3:CNY99.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | MEMS光纤声压传感器技术/.金鹏[等]著 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2022 |
| 载体形态项： | 170页:;+图:;+24cm |
| 一般附注： | 国家科学技术学术著作出版基金资助出版 |
| 提要文摘： | 本书首先介绍MEMS光纤声压传感器的结构特征、发展历程和应用前景；其次根据MEMS光纤声压传感器的工作原理，从光学和力学两个角度进行介绍与分析；然后从制作角度介绍传感器的膜片加工和结构封装；最后对传感器的性能进行测试。 |
| 并列题名： | Fiber acoutics sensors based on MEMS eng |
| 并列题名： | Fiber acoustics sensors based on MEMS eng |
| 题名主题： | 光纤压力传感器 |
| 中图分类： | TP212.4 |
| 个人名称等同： | 金鹏 著 |
| 记录来源： | CN 91MARC 20220712 |
| 记录来源： | CN TSG 20231230 |