书目详细信息
： MEMS可靠性 Reliability of MEMS
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-5641-1575-3:CNY50.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi eng |
| 出版国别： | CN 320000 |
| 题名责任者项： | MEMS可靠性/.(日)O. Tabata，(日)T. Tsuchiya著/.宋竞[等]译 |
| 出版发行项： | 南京:,东南大学出版社:,2009 |
| 载体形态项： | 247页:;+图:;+24cm |
| 丛编项： | 微纳系统系列译丛 |
| 提要文摘： | 本书是国际上MEMS可靠性领域第一本专著，共分为两部分。第一部分论述MEMS材料的可靠性内容及主要表征方法，包括MEMS材料的可靠性，微纳压痕仪，鼓胀测试，弯曲测试，单轴张应力测试，片上测试；第二部分论述MEMS器件的可靠性，包括压力传感器可靠性，惯性传感器可靠性，RFMEMS可靠性和光MEMS可靠性。 |
| 并列题名： | Reliability of MEMS eng |
| 题名主题： | 微电子技术 可靠性 |
| 中图分类： | TN4 |
| 个人名称等同： | 田畑 (日) (Tabata, O.) 著 |
| 个人名称等同： | 土屋 (日) (Tsuchiya, T.) 著 |
| 个人名称次要： | 宋竞 译 |
| 记录来源： | CN CEPC 20090504 |