ISBN/价格: | 978-7-5606-6628-0:CNY37.00 |
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作品语种: | chi |
出版国别: | CN 610000 |
题名责任者项: | 集成电路制造工艺/.肖国玲,张彦芳,钱冬杰主编 |
出版发行项: | 西安:,西安电子科技大学出版社:,2023 |
载体形态项: | 224页:;+图,照片:;+26cm |
一般附注: | 高职高专微电子专业系列教材 |
提要文摘: | 本书以硅基集成电路制造工艺流程为主线,介绍了从晶圆制备到封装完成全过程的典型集成电路制造工艺技术。内容分为准备晶圆、芯片制造、封装测试、良品率控制4个部分。 |
题名主题: | 集成电路工艺 高等职业教育 教材 |
中图分类: | TN405 |
个人名称等同: | 肖国玲 主编 |
个人名称等同: | 张彦芳 主编 |
个人名称等同: | 钱冬杰 主编 |
记录来源: | CN 91MARC 20230325 |
记录来源: | CN TSG 20231205 |