书目详细信息
： 集成电路制造工艺
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-121-22899-5:CNY39.60 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 集成电路制造工艺/.孙萍主编 |
| 出版发行项： | 北京:,电子工业出版社:,2014.09 |
| 载体形态项： | 11, 280页:;+图:;+26cm |
| 一般附注： | “十二五”职业教育国家规划教材 全国高等职业教育规划教材·精品与示范系列 |
| 提要文摘： | 本书从集成电路的制造工艺流程出发, 系统介绍继承电路制造工艺的原理、工艺技术和操作方法等。全书共分4个模块11章, 内容包括：集成电路制造工艺的发展与工艺流程、薄膜制备等。 |
| 题名主题： | 集成电路工艺 职业教育 教材 |
| 题名主题： | 集成电路工艺 |
| 中图分类： | TN405 |
| 个人名称等同： | 孙萍 (技术教育) 主编 |
| 记录来源： | CN CEOC 20151022 |