书目详细信息
： 微电子工艺与装备技术
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-03-075192-8:CNY88.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微电子工艺与装备技术/.夏洋，解婧，陈宝钦编著 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2023 |
| 载体形态项： | 10,227页:;+图，照片:;+26cm |
| 一般附注： | 中国科学院大学研究生教材系列 |
| 提要文摘： | 本书共十章，内容包括：基础知识、物理气相沉积工艺实验、化学气相沉积工艺实验、光刻工艺实验、微纳米刻技术及实验、刻蚀工艺实验、工艺集成及微机电系统、示例课程简介等。 |
| 题名主题： | 微电子技术 生产工艺 研究生 教材 |
| 中图分类： | TN405 |
| 个人名称等同： | 夏洋 编著 |
| 个人名称等同： | 解婧 编著 |
| 个人名称等同： | 陈宝钦 编著 |
| 记录来源： | CN LLBF 20241129 |