ISBN/价格: | 978-7-03-018243-2:CNY88.00 |
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作品语种: | eng |
出版国别: | CN 110000 |
题名责任者项: | 微纳制造/.Mark J. Jackson[编著] |
版本项: | 影印版 |
出版发行项: | 北京:,科学出版社 |
载体形态项: | 10,699页:;+图:;+24cm |
丛编项: | 微纳技术著作丛书 |
提要文摘: | 本书全面阐述了微纳器件的设计和制造方面的知识,以及在设计和制造时所要考虑的诸多因素。书中涵盖了多种制造技术,包括微纳制造技术、体和表面微加工技术、LiGA技术、薄膜沉积技术、纳加工技术等。 |
并列题名: | Micro and nanomanufacturing |
题名主题: | 机械制造工艺 纳米技术 |
中图分类: | TH16 |
个人名称等同: | Mark |
个人名称等同: | J. |
个人名称等同: | Jackson |
记录来源: | CN 重庆电子工程职业学院图书馆 200711 |