书目详细信息
： 微电子材料与器件制备技术
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-122-02445-9:CNY39.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微电子材料与器件制备技术/.王秀峰，伍媛婷编 |
| 出版发行项： | 北京:,化学工业出版社:,2008 |
| 载体形态项： | 225页:;+图:;+26cm |
| 提要文摘： | 本书以微电子材料为对象，以材料和器件的制备工艺为主线，系统、全面地介绍了微电子材料与器件制备技术的前沿问题与进展。全书主要包括微电子材料的分类及性能、微电子器件中材料的选择、不同微电子材料与器件的加工工艺以及微电子材料的性能测试技术等。 |
| 题名主题： | 微电子技术 |
| 中图分类： | TN4 |
| 个人名称等同： | 王秀峰 编 |
| 个人名称等同： | 伍媛婷 编 |
| 记录来源： | CN CEPC 20090904 |